Пардохти кимиёвӣ-механикӣ (CMP) аксар вақт бо истеҳсоли сатҳи ҳамвор тавассути реаксияи химиявӣ, махсусан корҳо дар саноати истеҳсоли нимноқилҳо машғул аст.Лонметр, як навовари боэътимод бо таҷрибаи зиёда аз 20 сола дар ченкунии консентратсияи хаттӣ, технологияҳои муосирро пешниҳод мекунадметрхои зичии гайриядройва сенсорҳои часпакӣ барои ҳалли мушкилоти идоракунии slurry.
Аҳамияти сифати slurry ва экспертизаи Lonnmeter
Шӯрбои кимиёвии сайқалдиҳии механикӣ асоси раванди CMP буда, яксонӣ ва сифати рӯи рӯиҳоро муайян мекунад. Зичии номувофиқӣ ё часпакии slurry метавонад ба нуқсонҳо ба монанди микро харошидан, нобаробар нест кардани мавод ё баста шудани тахтаҳо оварда расонад, ки сифати вафлиро паст мекунад ва хароҷоти истеҳсолиро зиёд мекунад. Lonnmeter, пешвои ҷаҳонӣ дар ҳалли ченкунии саноатӣ, ба андозагирии slurry inline тахассус дорад, то иҷрои оптималии slurry таъмин карда шавад. Бо таҷрибаи собитшудаи таҳвили сенсорҳои боэътимод ва дақиқ, Lonnmeter бо истеҳсолкунандагони пешбари нимноқилҳо барои баланд бардоштани назорат ва самаранокии раванд ҳамкорӣ кардааст. Ҳисобкунакҳои зичии сӯзишвории ғайриядроӣ ва сенсорҳои часпакӣ маълумоти воқеиро таъмин мекунанд, ки имкон медиҳанд, ки танзими дақиқро барои нигоҳ доштани консентратсияи шлам ва қонеъ кардани талаботи ҷиддии истеҳсоли нимноқилҳои муосир таъмин кунанд.
Таҷрибаи зиёда аз ду даҳсола дар ченкунии консентратсияи дохилӣ, ки аз ҷониби ширкатҳои беҳтарини нимноқилҳо эътимод доранд. Санҷандаҳои Lonnmeter барои ҳамгироии бефосила ва нигоҳдории сифр тарҳрезӣ шудаанд, ки хароҷоти амалиётро коҳиш медиҳанд. Қарорҳои мувофиқ барои қонеъ кардани эҳтиёҷоти мушаххаси раванд, таъмини ҳосили баланди вафли ва мувофиқат.
Нақши сайқалдиҳии механикии химиявӣ дар истеҳсоли нимноқилҳо
Парвариши механикии кимиёвӣ (CMP), ки онро инчунин планаризатсияи кимиёвӣ-механикӣ меноманд, санги асосии истеҳсоли нимноқилҳо мебошад, ки имкон медиҳад сатҳи ҳамвор ва бенуксон барои истеҳсоли пешрафтаи чипҳо эҷод карда шавад. Раванди CMP тавассути омезиши қишри кимиёвӣ бо абрешими механикӣ дақиқии заруриро барои микросхемаҳои интегралӣ дар гиреҳҳои зери 10 нм таъмин мекунад. Шӯрбои кимиёвии сайқалдиҳии механикӣ, ки аз об, реагентҳои кимиёвӣ ва зарраҳои абразивӣ иборат аст, бо тахтаи сайқалдиҳанда ва вафли мутақобила мекунад, то маводро яксон тоза кунад. Вақте ки тарҳҳои нимноқилҳо таҳаввул меёбанд, раванди CMP ба мураккабии афзоянда дучор мешавад, ки назорати қатъиро аз болои хосиятҳои шлам барои пешгирӣ кардани камбудиҳо ва ноил шудан ба вафли ҳамвор ва сайқалёфтаи аз ҷониби рехтагарҳо ва таъминкунандагони нимноқилҳо талаб мекунад.
Ин раванд барои истеҳсоли микросхемаҳои 5 нм ва 3 нм бо камбудиҳои ҳадди ақал муҳим аст, ки сатҳи ҳамворро барои ҷойгиркунии дақиқи қабатҳои минбаъда таъмин мекунад. Ҳатто номувофиқатии ночиз метавонад ба коркарди гарон ё талафи ҳосил оварда расонад.
Мушкилот дар мониторинги хосиятҳои slurry
Нигоҳ доштани зичии пайваста ва часпакии slurry дар раванди сайқалдиҳии механикии кимиёвӣ бо мушкилот рӯ ба рӯ мешавад. Хусусиятҳои slurry метавонад аз сабаби омилҳое, ба монанди интиқол, оббозӣ бо об ё пероксиди гидроген, омехтаи нокифоя ё таназзули кимиёвӣ фарқ кунад. Масалан, ҷойгиршавии зарраҳо дар зарфҳои slurry метавонад зичии баландтарро дар поён ба вуҷуд орад ва ба сайқал додани якранг оварда расонад. Усулҳои анъанавии мониторинг ба монанди рН, потенсиали оксидшавӣ-камшавӣ (ORP) ё гузаронандагӣ аксар вақт нокифояанд, зеро онҳо тағироти нозукро дар таркиби slurry муайян карда наметавонанд. Ин маҳдудиятҳо метавонанд ба камбудиҳо, коҳиши сатҳи бартарафсозӣ ва афзоиши хароҷоти истеъмолӣ оварда расонанд, ки барои истеҳсолкунандагони таҷҳизоти нимноқилҳо ва провайдерҳои хидматрасонии CMP хатари ҷиддӣ эҷод мекунанд. Тағироти таркибӣ ҳангоми коркард ва тақсимкунӣ ба кор таъсир мерасонад. Гиреҳҳои зери 10 нм назорати сахттарро аз болои тозагии slurry ва дақиқии омехта талаб мекунанд. рН ва ORP тағирёбии ҳадди ақалро нишон медиҳанд, дар ҳоле ки гузаронанда бо пиршавии slurry фарқ мекунад. Хусусиятҳои номувофиқ slurry метавонад сатҳи нуқсонро то 20% дар як таҳқиқоти соҳавӣ афзоиш диҳад.
Сенсорҳои Inline Lonnmeter барои мониторинги вақти воқеӣ
Lonnmeter ин мушкилотро бо ҳисобкунакҳои пешрафтаи зичии slurry ғайриядроӣ ҳал мекунад васенсорҳои часпакӣ, аз ҷумла ҳисобкунаки часпакӣ барои ченкунии часпак дар дохили хат ва ченаки зичии ултрасадо барои мониторинги ҳамзамон зичии часпак ва часпак. Ин сенсорҳо барои ҳамгироии бефосила ба равандҳои CMP тарҳрезӣ шудаанд, ки дорои пайвастҳои стандартии саноатӣ мебошанд. Қарорҳои Lonnmeter барои сохтмони мустаҳками он эътимоднокии дарозмуддат ва нигоҳдории пастро пешниҳод мекунанд. Маълумот дар вақти воқеӣ ба операторҳо имкон медиҳад, ки омехтаҳои лӯбиёро дуруст танзим кунанд, камбудиҳоро пешгирӣ кунанд ва иҷрои сайқалдиҳиро оптимизатсия кунанд ва ин асбобҳоро барои таъминкунандагони таҷҳизоти таҳлил ва озмоишӣ ва таъминкунандагони масолеҳи CMP ҳатмӣ гардонанд.
Манфиатҳои мониторинги доимӣ барои оптимизатсияи CMP
Мониторинги пайваста бо сенсорҳои дохилии Lonnmeter раванди сайқалдиҳии механикии кимиёвиро тавассути расонидани фаҳмишҳои амалӣ ва сарфаи назарраси хароҷот табдил медиҳад. Андозаи воқеии зичии slurry ва мониторинги часпакӣ, тибқи меъёрҳои соҳа, камбудиҳоро ба монанди харошидан ё сайқал додани аз ҳад зиёд то 20% коҳиш медиҳад. Интегратсия бо системаи PLC имкон медиҳад, ки миқдоркунии автоматикунонидашуда ва назорати равандро таъмин намуда, хосиятҳои slurry дар доираи оптималӣ боқӣ монанд. Ин боиси 15—25 фоиз кам шудани харочоти масолехи истеъмолй, кам шудани бекористй ва бехтар шудани якрангии пластинка мегардад. Барои рехтагарҳои нимноқилӣ ва провайдерҳои хидматрасонии CMP, ин имтиёзҳо ба баланд бардоштани ҳосилнокӣ, маржаи баландтари фоида ва мувофиқат ба стандартҳо ба монанди ISO 6976 табдил меёбанд.
Саволҳои умумӣ дар бораи мониторинги slurry дар CMP
Чаро андозагирии зичии slurry барои CMP муҳим аст?
Андозагирии зичии slurry тақсимоти якхелаи зарраҳо ва мутобиқати омехтаро таъмин карда, камбудиҳоро пешгирӣ мекунад ва суръати бартарафсозии раванди сайқалдиҳии механикии химиявиро беҳтар мекунад. Он истеҳсоли вафли баландсифат ва риояи стандартҳои соҳаро дастгирӣ мекунад.
Мониторинги часпак самаранокии CMP-ро чӣ гуна афзоиш медиҳад?
Мониторинги часпакӣ ҷараёни пайвастаи slurry-ро нигоҳ медорад ва аз мушкилот ба монанди баста шудани ҷойгоҳ ё сайқал додани нобаробар пешгирӣ мекунад. Сенсорҳои дохилии Lonnmeter маълумоти воқеиро барои оптимизатсияи раванди CMP ва беҳтар кардани ҳосили вафли таъмин мекунанд.
Метрҳои зичии slurry ғайри ядроии Lonnmeter чӣ беназир аст?
Ҳисобкунакҳои зичии slurry ғайри ядроии Lonnmeter ченкунии ҳамзамон зичӣ ва часпакро бо дақиқии баланд ва нигоҳдории сифр пешниҳод мекунанд. Тарҳрезии мустаҳками онҳо эътимоднокӣ дар муҳити серталаби раванди CMP-ро таъмин мекунад.
Андозагирии зичии slurry дар вақти воқеӣ ва мониторинги часпакӣ барои оптимизатсияи раванди сайқалдиҳии механикии химиявӣ дар истеҳсоли нимноқилҳо муҳиманд. Ҳисобкунакҳои зичии сӯзишвории ғайриядроӣ ва сенсорҳои часпакии Lonnmeter ба истеҳсолкунандагони таҷҳизоти нимноқилҳо, таъминкунандагони масолеҳи масрафи CMP ва рехтагарҳои нимноқил асбобҳоеро барои бартараф кардани мушкилоти идоракунии лӯла, кам кардани камбудиҳо ва кам кардани хароҷот таъмин мекунанд. Бо пешниҳоди маълумоти дақиқ ва воқеӣ, ин қарорҳо самаранокии равандро баланд мебардоранд, мувофиқатро таъмин мекунанд ва даромаднокӣ дар бозори рақобатпазири CMP-ро афзоиш медиҳанд. ТашрифВебсайти Lonnmeterё имрӯз бо дастаи онҳо тамос гиред, то бифаҳмед, ки чӣ гуна Lonnmeter метавонад амалиёти сайқалдиҳии механикии химиявии шуморо тағир диҳад.
Вақти фиристодан: июл-22-2025
